Chapter 08 CMP 공정(CMP, Chemical-Mechanical Polishing)
1. CMP 공정이란?
2. CMP 공정 방법
3. CMP 장비
4. CMP 공정 특성
5. CMP 후 세정
Chapter 09 세정 공정(Cleaning)
1. 세정 공정이란?
2. 웨이퍼 세정
3. 습식세정 기술
4. 건식세정 기술
PART 5 반도체 테스트 및 패키징 공정
Chapter 01 반도체 테스트 공정
1. 테스트(Test)의 개념
2. 테스트 장비의 종류와 특성
3. 웨이퍼 테스트[Wafer Test, EDS(Electrical Die Sorting) Test]
4. 패키지 테스트(Package Test, Final Test)
5. 수율(Yield)
Chapter 02 반도체 패키징 공정
1. 패키징(Packaging) 공정
2. 반도체 패키지 기술
[부록] 필수이론 핵심요약집
저자(글) : 공지훈, 정건화, 유제규, 렛유인연구소
<공지훈>
ㆍ 현) 대기업 반도체 선행 연구 개발팀 연구원 10년
ㆍ 현) 렛유인 면접반 반도체 면접관, 렛유인 Expert 반도체 강사
ㆍ 누적 온/오프라인 수강생 3,971명
ㆍ 반도체 온/오프라인 강의 만족도 1위
ㆍ 명지대, 충북대 등 대학교 반도체 교육 다수 출강
ㆍ 국내 S대학 대학원 반도체 공정 석사
<정건화>
ㆍ현) 렛유인 반도체 대표강사
ㆍ 전) 삼성전자 종합기술원/반도체연구소 공정개발 엔지니어
ㆍ 전) SK하이닉스 DRAM 소자개발 엔지니어
ㆍ 전) 외국계반도체회사 소자개발 엔지니어
ㆍ 일본 동북대학(TOHOKU) 재료공학 박사
<유제규>
ㆍ현) 렛유인 반도체 대표강사
ㆍ 전) 삼성전자 반도체 선임연구원 14년(생산/공정, 제품기술)
ㆍ 전) 페어차일드반도체(외국계) 12년(파워IC개발)
ㆍ 전) 삼성전자 LED 수석연구원 3년(소자개발)
ㆍ 전) 경기과학기술대 전자전기공학 외래교수 4년